1、送风至少经过三级过滤（粗效、中效和高效），并且高效过滤器应设置在系统的末端。
2、洁净室应有足量的净化和空调的送风量。
3、洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度或负压梯度）。
4、洁净室应有合理的气流组织。

洁净室的系统构成：

大风量的循环空气（考虑局部排气）和高性能的过滤器；

符合需要的控制温湿度的空调设备（要考虑内部发热）；

设置控制外部尘埃带入室内的风淋室，传递窗等设备；

四周不易粘附尘埃，表面光滑，洁净的房间。

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